去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。它主要用于一般实验室的常规试验、配置常备溶液、清洗玻璃器皿等；电子工业生产，如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅半导体等；汽车、家用电器、建材表面涂装、电镀、镀膜玻璃清洗等；石油化工行业,化工反应冷却水、化学药剂、生产配液用水等。
从自来水到去离子水一般要经过几步处理：
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。
2、然后高压通过反渗透膜。
3、最后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。
相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
